工業(yè)氣體14種分類有哪些
工業(yè)氣體在國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志》(GB13690-1992)中
具體來說工業(yè)氣體可分為以下14種:
1. 特種氣體(Specialty gases) :
指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的, 對(duì)氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣
2、標(biāo)準(zhǔn)氣體(Standard gases) :
標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)
3、 電子氣體(Electronic gases) :
半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體
4. 外延氣體(Cpitaxial gases) :
在仔細(xì)選擇的襯底上采用化學(xué)氣相淀積(CVD) 的方法生長(zhǎng)一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體
5. 蝕刻氣體(Etching gases) :
蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜
6. 摻雜氣體(Dopant Gases):
在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中, 將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi), 以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率, 用來制造PN結(jié)、電阻
7. 熏蒸氣體(Sterilizing Gases) :
具有殺菌作用的氣體稱熏蒸氣體
。常用的氣體品種有環(huán)氧乙烷、磷烷、溴甲烷、溴甲醛、環(huán)氧丙烷等。其滅菌原理是利用烷化作用, 使微生物組織內(nèi)維持生命不可缺少的物質(zhì)惰化。最經(jīng)常使用的是以不同比例配制的環(huán)氧乙烷和二氧化碳的混合氣, 根據(jù)用途不同, 環(huán)氧乙烷的含量可以是10%、20%和30%等。也可采用環(huán)氧乙烷和氟利昂12的混合氣,環(huán)氧乙烷與氟利昂11和氟利昂12的混合氣等。殺菌效果與各組分濃度、溫度、濕度、時(shí)間和壓力等因素有關(guān)。熏蒸氣體可以用于衛(wèi)生材料8. 焊接保護(hù)氣體(Welding Gases):
氣體保護(hù)焊由于具有焊接質(zhì)量好, 效率高, 易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化等優(yōu)點(diǎn)而得以迅速發(fā)展。焊接保護(hù)氣體可以是單元?dú)怏w, 也有二元
9. 離子注入氣( Gases for IonImplantation):
離子注入是把離子化的雜質(zhì), 例如P + 、B +
、As+加速到高能量狀態(tài),然后注入到預(yù)定的襯底上。離子注入技術(shù)在控制Vth(閾值電壓) 方面應(yīng)用得最為廣泛。注入的雜質(zhì)量可通過測(cè)量離子束電流而求得。離子注入工藝所用氣體稱離子注入氣, 有磷系、硼系和砷系氣體。10. 非液化氣體(Nonliquefied Gases):
壓縮氣體依據(jù)于一定壓力和溫度下在氣瓶中的物理狀態(tài)和沸點(diǎn)范圍可以區(qū)分為兩大類, 即液化氣體和非液化氣體
。非液化氣體系指除溶解在溶液中的氣體之外, 在2111℃和罐裝壓力下完全是氣態(tài)的氣體。也可定義為在正常地面溫度和13789~17237kPa 壓力下不液化的氣體。11. 液化氣體( Liquefied Gases ):
在2111℃和罐裝壓力下部分液化的氣體
?div id="4qifd00" class="flower right">12. 稀有氣體(Rare Gases):
元素周期表最后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體, 即氦
、氖、氬、氪、氙、氡。前五種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取。13. 低壓液化氣體(Low Pressure Liquefied Gases) :
臨界溫度大于70℃的氣體
。區(qū)分為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易分解或聚合的可燃?xì)怏w。此類氣體在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下貯運(yùn)和使用過程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有一氟二氯甲烷、二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、二氟溴氯甲烷14. 高壓液化氣體(High Pressure Liquefied Gases) :
臨界溫度大于或等于-10℃且小于或等于70℃的氣體